1、芯片開蓋
工作原理:利用鐳射及濕式法兩種配合使用的方式去除包封芯片的部分塑封環(huán)氧樹脂,以使得芯片的內(nèi)部結構可以露出來,方便后續(xù)的深度觀察和分析。
擁有新的化學開蓋和激光開蓋方案,積累了多年的開蓋經(jīng)驗,可應對幾乎所有的塑封芯片和各種材質(zhì)(金線、銅線、銀線、合金線)的引線鍵合。
2、芯片去層
工作原理:在真空等離子強化的條件下,通過選擇針對性的刻蝕反應氣體來實現(xiàn)有選擇地剝離芯片內(nèi)部制程結構,方便后續(xù)的觀察分析。通常應用于失效點定位前處理以及配合芯片內(nèi)部布局的影像采集,用于競爭力分析。
擁有RIE(反應式離子刻蝕)和ICP(感應耦合等離子體刻蝕)去層技術,在去層的應用方面積累了非常豐富的經(jīng)驗,可應對常見的各種半導體制程的芯片。
3、拍照
工作原理:在芯片內(nèi)部完成去層之后,通過顯微鏡或電子顯微鏡拍照的方式記錄芯片的部分或全部結構。拍攝過程中照片能夠實現(xiàn)連拍和拼接以形成每一層完整的布局圖(Layout)層與層之間的布局圖也可以實現(xiàn)拼接,以形成完整的芯片布局圖。應用方面以失效點定位后的記錄以及芯片競爭力分析為主。
用日本進口的高性能光學顯微鏡和電子顯微鏡,配套專用數(shù)碼相機,能夠實現(xiàn)高速率、高清晰度的芯片影像采集和自動拼接,節(jié)約客戶等待時間。
4、染色
工作原理:大多數(shù)集成電路采用的都是基于硅基的CMOS制程,制程中的電晶體包含P型摻雜和N型摻雜,他們在與某些化學試劑反應之后會表現(xiàn)為不同的顏色(顯色反應)。通過顏色的差別可以來區(qū)分摻雜區(qū)域進而為后續(xù)的分析提供便利條件。