探針臺是半導體表征參數測試測量非常常用的設備，應用范圍非常廣泛。本文，我們僅就手動探針臺及其半導體測試測量應用進行討論。

首先，我們來看看對于探針臺（機械探針臺）的定義：

“Mechanical Probe Station: The probe station utilizes manipulators which allow the precise positioning of thin needles on the surface of a semiconductor device. If the device is being electrically stimulated, the signal is acquired by the mechanical probe and is displayed on an oscilloscope or SMU.”

盡管以上定義對于測量儀器的描述比較窄（探針臺早期的用法），但從上面我們不難了解到，探針臺是一個實現精密探針定位、為用戶提供半導體待測點至測量儀器連接通路的設備。它主要包含了探針臺、定位器、探針、探針夾具及電纜組件。

1、探針臺。

探針臺屬于整個測試系統(tǒng)的基礎，沒有探針臺，就相當于醫(yī)生沒有了手術臺，在普通的病床上給病人做手術，將極大地增加手術風險。探針臺可按實現目標功能不同劃分成三部分：顯微鏡、承載平臺和精密移動組件。

（1）顯微鏡。沒有該配置，所有精密操作將無從談起。目前行業(yè)內常見的配置有三種：體視顯微鏡、金相顯微鏡、單筒顯微鏡，前兩種用得多。

（2）承載平臺。該部分是構成探針臺骨架，可分為顯微鏡支架、定位器平臺和樣品臺（載物臺）。

不同的顯微鏡，顯微鏡的支架會有所不同，通常有立柱安裝和龍門安裝兩種配置。

定位器平臺用于放置定位器（探針座）、形狀和尺寸根據測試應用不同會有不同的設計形式。

樣品臺（載物臺）用于承載待測樣品，通常根據晶圓尺寸設計，常用的尺寸從2～12英寸。除了承載樣品的功能，樣品臺還可根據測量需求，設計為帶測量通路和帶精密控溫的形式。

（3）精密移動組件。以上承載平臺都配套了相應的移動定位功能，方便用戶對顯微鏡、待測樣品及定位器進行精密的移動。通常有X-Y-Z-R-T這些方向移動功能。