項 目

性能指標(biāo)

備注

可測圓片尺寸

4，6 ,8inch

CHUCK

行程

X/Y：200×200 mm （Air-bearing stage 技術(shù)）含鎖死裝置

分辨率

1μm

控制

進(jìn)口導(dǎo)軌

平面度

≤5μm

背面需要加電極（可選）

晶圓固定方式

真空吸附，分檔控制

Chuck Z軸（可選）

行程

10mm

分辨率

1μm

Chuck θ軸（可選）

微調(diào)范圍

±5 o （分辨率為0.1°）

Platen 平臺

材料

非拋光型不銹鋼+特種鋁合金制

快速升降

10mm ，上下微調(diào)行程：30-50mm 精度１uｍ

容量

6-8個DC針座或者4個RF針座

Chuck θ軸（可選）

配置

體式顯微鏡

1.目鏡：20X 2.變倍范圍：0.75X-5X 3.總放大倍數(shù)：15x-100x 4.LED 光源照明

金相顯微鏡

1.目鏡：20x 2.Zoom：1-2x 3.物鏡：2x，10x，20x，50x

4.總放大倍數(shù)：20x-1000x 5.光纖光源系統(tǒng)

根據(jù)客戶測試

參數(shù)要求而定

Platen 平臺

行程

X/Y:2 inch x 2inch (分辨率：1um)

顯微鏡

氣動升降

顯微鏡氣動升降便于更換物鏡

屏蔽罩（可選）

L1350*W900*H1300mm

防震桌（可選）

W*D*H:1100*800*900mm