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FA失效分析檢測設(shè)備

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產(chǎn)品詳情

Failure analysis 集成電路失效分析

Wafer level reliability 晶元可靠性認(rèn)證

Device characterization 

元器件特性量測

Process modeling

塑性過程測試(材料特性分析)

IC Process monitoring 制成監(jiān)控

Package part probing 

IC封裝階段打線品質(zhì)測試

ESD&TDR testing ESD和TDR測試

Microwave probing 微波量測(高頻)

Solar太陽能領(lǐng)域檢測分析

LED、OLED、LCD領(lǐng)域檢測分析

QDYZ-1200 probe station

性能指標(biāo)

備注

可測圓片尺寸

4,6 ,8 ,12inch


CHUCK

行程

X/Y:305×305mm(Air-bearing stage 技術(shù))含鎖死裝置


分辨率

m


控制

進(jìn)口導(dǎo)軌


平面度

≤5μm

背面需要加電極(可選)

晶圓固定方式

真空吸附,分檔控制

Chuck Z軸(可選)

行程

10mm


分辨率

1μm


Chuck θ軸(可選)

微調(diào)范圍

±5 o (分辨率為0.1°)


Platen 平臺

材料

非拋光型不銹鋼+特種鋁合金制


快速升降

10mm ,上下微調(diào)行程:30-50mm 精度1um


容量

6-8個DC針座或者4個RF針座


Chuck θ軸(可選)

配置

體式顯微鏡

1.目鏡:20X 2.變倍范圍:0.75X-5X 3.總放大倍數(shù):15x-100x 4.LED 光源照明

金相顯微鏡

1.目鏡:20x 2.Zoom:1-2x 3.物鏡:2x,10x,20x,50x

4.總放大倍數(shù):20x-1000x 5.光纖光源系統(tǒng)

根據(jù)客戶測試

參數(shù)要求而定

Platen 平臺

行程

X/Y:2 inch x 2inch (分辨率:1um) Z: 2inch


顯微鏡

氣動升降

顯微鏡氣動升降便于更換物鏡


屏蔽罩(可選)

L1350*W900*H1300mm


防震桌(可選)

W*D*H:1100*800*900mm