型號：Elite Etch 7000

工作原理: 在受控條件（溫度、流量、墊圈保護(hù)）下，通過濃硫酸、濃硝酸以及他們的混酸與包封芯片的環(huán)氧樹脂(EMC)刻蝕反應(yīng)的方式去除塑封料，從而讓芯片內(nèi)部的晶粒和打線等封裝結(jié)構(gòu)裸露出來并不被破壞。

特點(diǎn)：

● 成熟的開封應(yīng)用方式，購置成本低廉；

● 蝕刻頭由優(yōu)質(zhì)的碳化硅加工而成，耐酸腐蝕，耐高溫，能夠在較短的加熱時(shí)間內(nèi)保持較高的熱導(dǎo)率；

● 開封參數(shù)采用程序設(shè)定。在設(shè)置好參數(shù)之后，開封過程全部由儀器自動(dòng)完成；

● 裝置為氣動(dòng)激活，蝕刻頭只有在安全罩完全關(guān)閉之后才能釋放；

● 配有氮?dú)獗O(jiān)測和吹掃系統(tǒng)，減少蝕刻頭的殘留酸發(fā)煙霧效應(yīng)；

● 開封表面潔凈無污染；

● 配有快速冷卻系統(tǒng)的裝置，可以對應(yīng)銅打線產(chǎn)品的開封；

● 標(biāo)配為 3 個(gè) 500 毫升瓶，其中兩只分別用來裝濃硫酸和濃硝酸，另外一只用來裝廢酸。通過使用熱交換系統(tǒng)，廢酸被冷卻到 90 攝氏度以下，所以允許使用一個(gè)單一的廢液瓶。瓶盒采用了通用的旋轉(zhuǎn)互連，允許簡單的瓶子交換；

● 所有流體接頭采用了雙重密封。瓶盒組件和蝕刻單元都包含流體傳感器，當(dāng)任何瓶子或內(nèi)部配件出現(xiàn)酸泄漏時(shí)提醒操作者；

● 操作控制面板外置，操作更加安全，控制面板本身也更耐用。

主要技術(shù)規(guī)格：

● 開封機(jī)尺寸：190mm×305mm×300(W×D×H)

● 瓶子組件尺寸：280×127×254（W×D×H）

● 重理：16KG

●氣體壓力：55-70 psi.(N2) or CDA 

●電源：220V/50Hz

● 開蓋范圍: ~ 22mm*22mm, 30mm 對角線，可應(yīng)對單顆芯片和 PCB 板上芯片開封；

● 應(yīng)用的酸液種類: 發(fā)煙硝酸、發(fā)煙硝酸和硫酸的混合或發(fā)煙濃硫酸、濃硫酸；

● 混酸比例: 硝酸對硫酸 9:1, 5:1, 4:1, 3:1, 2:1, 1:1 等多種混酸比例可供選擇；

● 蝕刻后漂洗: 硫酸，發(fā)煙硝酸，混酸或不漂洗；

● 蝕刻時(shí)間: 1~1,800 秒(30 分鐘)，可動(dòng)態(tài)調(diào)整蝕刻時(shí)間；

● 蝕刻溫度設(shè)定：硝酸 20~90°C，硫酸 20~250°C，混酸 20~100°C；

● 溫度設(shè)定和控制能力: 1° C ± 1%設(shè)定值；

● 蝕刻量選擇：1~6ml/min；

● 開封程序保存：100 個(gè)，非揮發(fā)性記憶體存儲(chǔ)。

安全設(shè)計(jì)特點(diǎn)：

EMO 緊急停電源開關(guān)。

刻蝕頭安全：超溫保護(hù)傳感器電路

泄露檢查傳感器： (i) 開封機(jī)主體；(ii) 酸瓶盒組件。

二級防護(hù)：真正的二級防護(hù)。

酸煙霧降低：廢酸熱交換以較小化酸煙霧。